一种光学元件高透射率高反射率测量装置及测量方法

基本信息

申请号 CN202110815095.2 申请日 -
公开(公告)号 CN113483996A 公开(公告)日 2021-10-08
申请公布号 CN113483996A 申请公布日 2021-10-08
分类号 G01M11/02 分类 测量;测试;
发明人 陈坚;吴周令 申请(专利权)人 合肥知常光电科技有限公司
代理机构 合肥天明专利事务所(普通合伙) 代理人 韩燕;金凯
地址 230031 安徽省合肥市高新区望江西路800号动漫基地C4楼2层208室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种光学元件高透射率高反射率测量装置及测量方法,测量装置包括有照射光源、第一分光装置、第二分光装置、参考反射装置、标定样品和信号探测装置。高透射率和高反射率检测均可以在本发明的测量装置上进行测量,不需要人为介入、调整,使用非常方便。本发明利用实时动态差分技术,当待测光学元件样品的透反射率和标定样品的透反射率接近时,相当于把对待测光学元件样品的高透反射率测量转变成对待测光学元件样品和标定样品之间的透反射率差值的测量,即把一个大量转成对一个小量的测量,而绝对测量误差要求并没有改变,这相当于降低了对相对测量误差的要求,降低了难度,从而保证了测量精度能够满足要求。