光学元件亚表面缺陷的多通道原位检测装置及检测方法
基本信息
| 申请号 | CN201911259313.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111060516B | 公开（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申请公布号 | CN111060516B | 申请公布日 | 2022-03-08 |
| 分类号 | G01N21/88（2006.01）I;G01N21/64（2006.01）I;G01N25/20（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张霖;许乔;石振东;陈坚;马骅;马可;白金玺;李杰;柴立群;赵建华;黄明 | 申请（专利权）人 | 合肥知常光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海恒慧知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 张宁展 |
| 地址 | 621900四川省绵阳市绵山路64号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种光学元件亚表面缺陷的多通道原位检测装置及检测方法，用于玻璃等光学元件缺陷测试。该装置包括由荧光共聚焦成像系统、荧光寿命成像系统、光热吸收成像系统三个通道构成，可一次性实现光学元件亚表面微纳缺陷几何形态、光致荧光、光热吸收特性的原位测试。本发明具有装置结构紧凑、检测通用性强、稳定性高的特点，适用于亚表面缺陷的高灵敏度无损检测。 |
