基于自旋轨道耦合的集成光学双通道折射率传感器

基本信息

申请号 CN201811083887.X 申请日 -
公开(公告)号 CN109164047B 公开(公告)日 2021-04-13
申请公布号 CN109164047B 申请公布日 2021-04-13
分类号 G01N21/23(2006.01)I;G01N21/21(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 谭起龙;赵光宇 申请(专利权)人 广州四百钇仪器有限公司
代理机构 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 代理人 滕诣迪
地址 510000广东省广州市天河区黄村北环路自编3号255
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于自旋轨道耦合的集成光学双通道折射率传感器。包括第一探测器、第二探测器、半导体激光器、传感器探头,半导体激光器位于天线正下方将激光照射在天线阵列,天线阵列产生±1级衍射级次,构成了折射率传感的两个通道,分别利用第一探测器和第二探测器探测两个通道的光强,对比两个通道光强对液体折射率的差异性响应实现折射率的双通道传感。本发明进一步减小双通道光学传感器的尺度的同时,能够有效提高光学传感器的信噪比和抗干扰能力。