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一种多种气体混配供应装置

基本信息

申请号 CN202021284827.7 申请日 -
公开（公告）号 CN212701398U 公开（公告）日 2021-03-16
申请公布号 CN212701398U 申请公布日 2021-03-16
分类号 B01F3/22(2006.01)I;B01F15/04(2006.01)I;B01F15/00(2006.01)I;B01F3/02(2006.01)I;B01F3/20(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 郭明华;周翔 申请（专利权）人 江苏融科装备科技有限公司
代理机构 北京久维律师事务所 代理人 邢江峰
地址 518000广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝荷大道76号智慧家园B座1801
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多种气体混配供应装置，涉及气体混配领域，包括配气阀箱和安装板,所述配气阀箱内设有安装板，所述安装板的顶面设有低压手动隔膜阀、低压气动隔膜阀、单向阀A、单向阀B、过滤器、氨气纯化器、氮气纯化器、氢气纯化器、氯化氢纯化器、混合气纯化器、氨气质量流量控制器、氮气质量流量控制器、氢气质量流量控制器、氯化氢质量流量控制器、混合气质量流量控制器A和混合气质量流量控制器B,所述氨气纯化器的底端通过管道与氨气质量流量控制器固定连接，本实用新型采用气体质量流量计进行体积配比，严格控制配比浓度，在入口端配置气体纯化器，避免受污染的工艺气体进入工艺设备腔体，有效提高了系统供气的稳定安全。