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大硅片研磨液回收系统装置

基本信息

申请号 2020210588044 申请日 -
公开（公告）号 CN212396056U 公开（公告）日 2021-01-26
申请公布号 CN212396056U 申请公布日 2021-01-26
分类号 B01D29/52(2006.01)I;B01D29/11(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 吴思韵;施文俊;邢广兴 申请（专利权）人 江苏融科装备科技有限公司
代理机构 重庆百润洪知识产权代理有限公司 代理人 沈锋
地址 518000广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝荷大道76号智慧家园B座1801
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及硅片研磨抛光技术领域，特别涉及大硅片研磨液回收系统装置，包括依次管道连接的初级过滤器、缓冲罐、输送罐和输送过滤器，所述初级过滤器和所述输送过滤器均与研磨液供应系统管道连接，所述初级过滤器、缓冲罐和输送罐均与废液排放系统管道连接。与现有技术相比，本发明所提供的大硅片研磨液回收系统装置，系统管路简单，容易清洁保养，研磨废液回收利用率高，不仅高效且快速地过滤清理研磨废液中的杂质，还可以实时监控其品质变化，从而对研磨废液进行高效循环利用，降低研磨工序成本成本，避免浪费。