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研磨液再生回收系统

基本信息

申请号 CN202021228850.4 申请日 -
公开（公告）号 CN213004696U 公开（公告）日 2021-04-20
申请公布号 CN213004696U 申请公布日 2021-04-20
分类号 B24B57/00(2006.01)I;B01D36/00(2006.01)I 分类 磨削；抛光;
发明人 郑圣弘;宋凯;吴思韵 申请（专利权）人 江苏融科装备科技有限公司
代理机构 重庆百润洪知识产权代理有限公司 代理人 沈锋
地址 518000广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝荷大道76号智慧家园B座1801
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及化学机械抛光技术领域，具体涉及一种研磨液再生回收系统，包括废液收集桶、循环储存桶、膜过滤装置、渗透桶槽、浊度计以及控制器，所述废液收集与循环储存桶连通，所述循环储存桶与膜过滤装置构成浓缩回路，所述膜过滤装置的渗透端固定连接有循环管道，所述循环管道上设置有渗透桶槽以及反清洗泵，所述浊度计设置在所述循环储存桶内，所述循环储存桶上还设置有输出管道，所述输出管道上还设置有输出泵，所述浊度计、输出泵均与所述控制器电连接。所述研磨液再生回收系统回收工艺简单可靠，可实现研磨液的回收利用，有效降低CMP过程的加工成本，且优化排废，减低环保的负担。