一种射频滤波器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202011065903.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112436821A | 公开（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申请公布号 | CN112436821A | 申请公布日 | 2021-03-02 |
| 分类号 | H03H9/64(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 缪建民;张金姣 | 申请（专利权）人 | 迈感微电子（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 201313上海市浦东新区万祥镇宏祥北路83弄1-42号20幢118室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种射频滤波器及其制作方法，射频滤波器包括：衬底、上电极层、下电极层、加热层和氮化镓层；所述衬底包括通孔区；所述下电极层设置于所述衬底的一侧；所述加热层设置于所述衬底远离所述下电极层的一侧，所述下电极层和所述加热层在所述通孔区相接触；所述氮化镓层设置于所述加热层远离所述衬底的一侧；所述上电极层设置于所述氮化镓层远离所述衬底的一侧。本发明提供的射频滤波器的工作性能不受环境温度的影响，可以在超低温度下正常工作。 |
