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一种开关谐振器、滤波器及开关谐振器的制作方法

基本信息

申请号 CN202011289196.2 申请日 -
公开（公告）号 CN112422098A 公开（公告）日 2021-02-26
申请公布号 CN112422098A 申请公布日 2021-02-26
分类号 H03H9/56(2006.01)I;H03H9/19(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I 分类 基本电子电路;
发明人 缪建民;张金姣 申请（专利权）人 迈感微电子（上海）有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 201203上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区春晓路439号3幢2层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种开关谐振器、滤波器及开关谐振器的制作方法，开关谐振器包括衬底、上电极层、下电极层、氮化镓层、氮化镓铝层、第一电极和第二电极；衬底包括通孔区；下电极层设置于衬底的一侧；氮化镓层设置于衬底远离下电极层的一侧，下电极层和氮化镓层在通孔区相接触；氮化镓铝层设置于氮化镓层远离衬底的一侧；上电极层和第一电极位于氮化镓铝层远离衬底的表面，且第一电极与上电极层不接触；第二电极位于氮化镓层的远离第一电极的侧面。本发明将开关集成在滤波器上，无需增加外加开关就可以实现开关谐振器的开和关，可以有效的节约空间与成本。