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体声波谐振器

基本信息

申请号 CN201911100619.9 申请日 -
公开（公告）号 CN112865742A 公开（公告）日 2021-05-28
申请公布号 CN112865742A 申请公布日 2021-05-28
分类号 H03H9/17(2006.01)I 分类 基本电子电路;
发明人 缪建民;张瑞珍 申请（专利权）人 迈感微电子（上海）有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 201313上海市浦东新区万祥镇宏祥北路83弄1-42号20幢118室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例公开了一种体声波谐振器。该体声波谐振器包括：上电极、压电层和下电极，压电层设置在上电极和下电极之间；压电层在下电极的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。通过在压电层的侧面设置多个锯齿结构，使压电层的侧面形成不规则边缘，以使压电层通电后产生的横向体声波传播到压电层与空气接触的表面时，能够发生杂乱无章的反射或漫反射，防止横向驻波的形成。本发明实施例的技术方案，解决了现有的体声波谐振器除了产生纵向体声波外，还会产生其他形式的驻波，增加体声波谐振器的噪声，对体声波谐振器的性能产生不利影响的问题，阻止了其他形式的驻波的产生，减少了体声波谐振器的噪声，提升了体声波谐振器的性能。