菲林玻璃光罩
基本信息
| 申请号 | CN202120980152.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214954514U | 公开（公告）日 | 2021-11-30 |
| 申请公布号 | CN214954514U | 申请公布日 | 2021-11-30 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 伍佩铭;许迪;董鹏程;高辉;孙胜延;杨艳 | 申请（专利权）人 | 乾宇电子材料（东莞）有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苗广冬 |
| 地址 | 523000广东省东莞市松山湖园区工业西路14号1栋1704室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出一种菲林玻璃光罩，包括玻璃基板、菲林片以及折射镜，所述玻璃基板包括相互背对的入光面和出光面；所述菲林片贴设于所述出光面，所述菲林片包括透光区和遮光区；所述折射镜设于所述菲林片的背离所述玻璃基板的一侧，所述折射镜于所述菲林片的至少部分投影位于所述透光区内，以使由所述透光区边缘出射的衍射光经过所述折射镜后的出射角度变小。本申请的技术方案，得以提高曝光精度和分辨率。 |
