基于CAN总线的真空镀膜设备的蒸发源控制装置及其控制方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

基于CAN总线的真空镀膜设备的蒸发源控制装置及其控制方法

基本信息

申请号	CN201710454195.0	申请日	-
公开（公告）号	CN107034442A	公开（公告）日	2017-08-11
申请公布号	CN107034442A	申请公布日	2017-08-11
分类号	C23C14/54(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	夏荣斌;孔令刚;王成兵;令晓明;黄海洋;胡建鹏;范多旺	申请（专利权）人	常州大成绿色镀膜科技有限公司
代理机构	常州市江海阳光知识产权代理有限公司	代理人	翁坚刚
地址	213000 江苏省常州市滨江经济开发区黄海路368号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种基于CAN总线的真空镀膜蒸发源控制装置及其控制方法，该控制装置的主控制器包括微控制器、开关量调理模块、开关量输出驱动模块、模拟量输入调理模块、模拟量变换输出模块、CAN总线接口模块等。本装置在运行时能够对真空镀膜设备蒸发源进行全自动监督控制，保证蒸发功率的控制精度和稳定性，提高镀膜质量。所述的主控制器能够通过CAN总线实时获得管理计算机的控制命令和目标值，采集蒸发源主回路二次侧负载电流、电压和报警信息，根据预置的控制程序和算法进行分析计算，通过调节蒸发源主回路一次侧的电流电压，而对蒸发源负载功率进行调节。所述的主控制器在使用时还能够将蒸发源当前状态信息和电量信息上传给管理计算机。