一种芯片加工用除尘装置
基本信息
| 申请号 | CN201920298671.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209810814U | 公开（公告）日 | 2019-12-20 |
| 申请公布号 | CN209810814U | 申请公布日 | 2019-12-20 |
| 分类号 | B08B5/04（2006.01） | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 金秋林 | 申请（专利权）人 | 山东中芯光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司 | 代理人 | 山东中芯光电科技有限公司 |
| 地址 | 250101 山东省济南市高新区港兴三路北段一号济南药谷研发平台1号楼A座423室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种芯片加工用除尘装置，其结构包括安装架、控制箱、电线、微型自吸泵、压力表、开关、电源线、箱体、嵌套钮、蜂窝板、透明板、连接孔、除尘枪、中空管和流量调节装置，通过在气槽底端设置了流量调节装置，选择合适腔体过风流量，将限位柱插入调节卡洞中，开启微型自吸泵，将尘体从除尘枪引入，穿过各个槽体，在经过第一腔体、第二腔体、第三腔体，风力推动挡风板，卷弹簧受力变形，挡风板最低位置为调节卡洞处，此时气流进入排气筒中，灰尘慢慢积聚在蜂窝板底端，达到了能够先调节最小风量试用其除尘效果，再增强风量除尘，使精密芯片不轻易被损坏，实用性强的优点。 |
