一种多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202120081861.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214400702U | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN214400702U | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | C23C14/54（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 段伟伟;曹孝佛;郭起滨;曾家旺 | 申请（专利权）人 | 赣州帝晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 赣州智府晟泽知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 姜建华 |
| 地址 | 341000江西省赣州市章贡区高新技术产业园水西园区冶金路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备，包括镀膜腔体，所述镀膜腔体的内侧设置有布气管，所述布气管的外侧开设有出气口，所述出气口对称开设有多个，所述镀膜腔体的内侧设置有温度计，所述温度计对称设置有多个，所述镀膜腔体的底端设置有第一气管，所述第一气管对称设置有三个，所述第一气管的外侧设置有流量计，所述第一气管的外侧设置有第一控制阀，所述第一气管的顶端设置有三通气管。该多方位温度气体可调高阻膜镀膜设备，第二气管连接三通气管，可控制氩气与氧气的进入，接着是布气管，布气管三根并联在一起，每根布气管都有排列均匀分布的出气口，可以使气体能均匀地到达靶面，保证膜层均匀。 |
