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一种提升热释电晶圆等离子体激活均匀性的方法

基本信息

申请号 CN202011358667.0 申请日 -
公开（公告）号 CN112490346A 公开（公告）日 2021-03-12
申请公布号 CN112490346A 申请公布日 2021-03-12
分类号 H01L37/02(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 欧欣;陈阳;黄凯 申请（专利权）人 上海新微科技集团有限公司
代理机构 广州三环专利商标代理有限公司 代理人 郝传鑫;贾允
地址 200050上海市长宁区长宁路865号5号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种提升热释电晶圆等离子体激活均匀性的方法，包括：通过多次等离子体激活法对热释电晶圆表面进行激活；所述对热释电晶圆表面进行激活的总时长为10秒至60秒，每次所述对热释电晶圆表面进行激活的时间为2秒至10秒，每相邻两次所述对热释电晶圆表面进行激活的时间间隔为2秒至10秒；所述对热释电晶圆表面进行激活的功率为25瓦至300瓦。通过多次等离子体激活法对热释电晶圆表面进行激活，并预设激活时间、时间间隔和激活功率；从而中断连续激活过程中的正反馈恶性循环，即采用多次短时间等离子体激活的方式，释放表面积累的电荷，提高等离子体激活的均匀性。