一种芯片管脚共面性和间距的测试装置及其测试方法
基本信息
| 申请号 | CN202210190513.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114252000A | 公开（公告）日 | 2022-03-29 |
| 申请公布号 | CN114252000A | 申请公布日 | 2022-03-29 |
| 分类号 | G01B7/00（2006.01）I;G01B7/14（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李鹏飞;李涛;牛姜枫;赵杰 | 申请（专利权）人 | 北京京瀚禹电子工程技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 102200北京市昌平区沙河镇松兰堡村西海特光电院内办公楼1层102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及芯片检测的领域，尤其是涉及一种芯片管脚共面性和间距的测试装置，包括检测平台、设置在检测平台上用于固定芯片位置的固定装置以及用于对芯片管脚共面性和间距进行检测的检测装置，检测平台上设置有带动检测装置水平移动的水平驱动件以及带动检测装置竖直移动的竖直驱动件，检测装置包括探针以及设置在探针上端的压电传感器，当探针在芯片管脚上移动时，探针与压电传感器抵接，压电传感器对探针在各个管脚上的竖直移动距离进行检测以得到各个管脚所在平面，压电传感器与处理模块连接，处理模块用于统计探针在相邻两管脚间的移动时间得出相邻两管脚的间距。本申请具有可以减少工作人员的劳动强度，提高检测效率，减少检测故障的效果。 |
