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激光直写式光刻设备

基本信息

申请号 CN202130477604.6 申请日 -
公开（公告）号 CN307003593S 公开（公告）日 2021-12-14
申请公布号 CN307003593S 申请公布日 2021-12-14
分类号 15-99 （13） 分类 -
发明人 林垂真;周川;张华;吴越;项铭;陈新宏 申请（专利权）人 杭州新诺微电子有限公司
代理机构 浙江永鼎律师事务所 代理人 陆永强
地址 311200浙江省杭州市萧山区南阳街道岩峰村（自然村）772号-28
法律状态 -

摘要

摘要 1.本外观设计产品的名称：激光直写式光刻设备。2.本外观设计产品的用途：用于光刻设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。