一种酸性蚀刻铜回收系统回收氯气的装置

基本信息

申请号 CN202010334297.0 申请日 -
公开(公告)号 CN111394725A 公开(公告)日 2020-07-10
申请公布号 CN111394725A 申请公布日 2020-07-10
分类号 C23F1/18(2006.01)I 分类 -
发明人 张建军;何国雄;陈清华;詹毅 申请(专利权)人 深圳市京中康科技有限公司
代理机构 广东有知猫知识产权代理有限公司 代理人 深圳市京中康科技有限公司
地址 518000广东省深圳市宝安区沙井蚝三茅洲工业区A、B栋B栋一楼1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种酸性蚀刻铜回收系统回收氯气的装置,包括废液槽罐、电解槽、蚀刻机、药水槽和气液混合循环机构,蚀刻机与药水槽为供应一体结构,蚀刻机设置于蚀刻生产线起始端一侧并与蚀刻生产线产生供料工作连接,废液槽罐设置于蚀刻生产线末尾端并储存使用后的蚀刻液,电解槽设置于废液槽罐一侧并回收罐内的蚀刻液,且电解槽通过输气管一连接有氯气供应设备,气液混合循环机构包括有药水循环泵,药水循环泵出水端设置有射流器,药水槽、药水循环泵和射流器均通过循环管构成循环闭合连接,且射流器通过输气管二与氯气供应设备相连接。本发明不仅节约设备安装成本和生产成本,而且还具有节能减排的效果。