一种酸性蚀刻铜回收系统中氯气进一步处理方法
基本信息
申请号 | CN202010335301.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111394728A | 公开(公告)日 | 2020-07-10 |
申请公布号 | CN111394728A | 申请公布日 | 2020-07-10 |
分类号 | C23F1/46(2006.01)I | 分类 | - |
发明人 | 张建军;何国雄;陈清华;詹毅 | 申请(专利权)人 | 深圳市京中康科技有限公司 |
代理机构 | 广东有知猫知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市京中康科技有限公司 |
地址 | 518000广东省深圳市宝安区沙井蚝三茅洲工业区A、B栋B栋一楼1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种酸性蚀刻铜回收系统中氯气进一步处理方法,该方法首先将酸性蚀刻铜生产线中使用后的蚀刻液送入蚀刻液回收电解槽进行电解再生,产生大量氯气,蚀刻液回收电解槽上的一级抽风机构则将一部分氯气送入电解液吸收罐内,同时将电解液送入电解液吸收罐内完成对该部分氯气的吸收工作,其次电解液吸收罐内的电解液在吸收充分的氯气后生成再生液并输送到再生液罐内,随后从再生液罐将再生液送入生产线的中间罐内进行备用保存。本发明较好的吸收了更多氯气回用于生产线,同时也减少了三氯化铁的产生量,达到了降耗、节能、减排的作用。 |
