一种全自动微蚀液循环再生装置

基本信息

申请号 CN201720060486.7 申请日 -
公开(公告)号 CN206512275U 公开(公告)日 2017-09-22
申请公布号 CN206512275U 申请公布日 2017-09-22
分类号 C23F1/46(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 何国雄;张建军;周京萍;傅玲 申请(专利权)人 深圳市京中康科技有限公司
代理机构 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 深圳市京中康科技有限公司
地址 518104 广东省深圳市宝安区沙井街道蚝三茅州工业区A、B栋B栋一楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种全自动微蚀液循环再生装置,包括:微蚀液预处理构件,其包括双氧水破解循环槽、双氧水供给器、氧气供给器、微蚀液过滤器,双氧水破解循环槽的下端可拆卸地设置有清洗液回收槽;微蚀液电解构件,其包括微蚀液电解槽、相对间隔设置在所述微蚀液电解槽内的阳极板和阴极板以及与所述微蚀液电解槽相连通的微蚀液再生槽;清洗构件,其包括两个喷头以及清洗液容置槽;废气处理构件,其包括第一废气处理槽和第二废气处理槽。本实用新型提供的全自动微蚀液循环再生装置通过对微蚀液进行有效的预处理,能够有效地提高微蚀液中铜的提取效率,降低了能耗,节约成本,能够保证微蚀液再生时的工作环境以及双氧水破解循环槽内的洁净度。