制备非晶态纳米球形二氧化硅的设备
基本信息
| 申请号 | CN202021728642.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212356560U | 公开（公告）日 | 2021-01-15 |
| 申请公布号 | CN212356560U | 申请公布日 | 2021-01-15 |
| 分类号 | C01B33/18(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 叶高英;古忠涛 | 申请（专利权）人 | 苏州英纳特纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州领跃知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏州英纳特纳米科技有限公司 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城综合楼中北区23栋214室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种制备非晶态纳米球形二氧化硅的设备，包括：四氯化硅加料装置、射频等离子体发生器、合成室、冷却室、第一收集室、第一分离器、第二收集室、第二分离器、第三收集室、真空机组和氯气回收装置；所述四氯化硅加料装置用于提供气态的四氯化硅；所述射频等离子体发生器连接合成室；所述冷却室连接合成室，所述第一收集室连接冷却室；所述第一分离器通过管路连接冷却室，所述第二收集室连接第一分离器；所述第二分离器连接第一分离器，所述第三收集室连接第二分离器；所述氯气回收装置通过管路连接第二分离器；所述真空机组连接第二分离器和氯气回收装置之间的管路。上述设备能够高效地制备非晶态纳米球形二氧化硅。 |
