一种用于芯片老化的恒温水路系统
基本信息
| 申请号 | CN202010633919.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111751712A | 公开（公告）日 | 2020-10-09 |
| 申请公布号 | CN111751712A | 申请公布日 | 2020-10-09 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01)I;G05D23/19(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 颜小伟;昝国骥;李少华;邓卫华 | 申请（专利权）人 | 武汉永力睿源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 武汉永力睿源科技有限公司 |
| 地址 | 430205湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园南路19号永力产业园二楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种用于芯片老化的恒温水路系统，涉及恒温装置技术领域，主要结构包括并行设置的进水管路和出水管路以及多个水冷板；水冷板用于放置待测芯片，内部设有循环冷却水路和加热管；芯片工位位于水冷板上，水冷板上设置有限位座限定芯片位置。待测芯片通电后，激光通过积分球进行漫反射后到出光口。芯片通电工作时，芯片温度传到芯片底座，芯片底座与芯片工位贴紧接触，热量传递到水冷板上。水冷板内部循环水路带走热量，降低水冷板温度，从而间接带走芯片底座热量。水冷板内部带有温度传感器，温度下降到预定温度后，即可保持芯片底座恒温，从而能够对不同功率的激光芯片均衡降温。 |
