粉体定量供给装置

基本信息

申请号 CN201020286898.0 申请日 -
公开(公告)号 CN201766062U 公开(公告)日 2011-03-16
申请公布号 CN201766062U 申请公布日 2011-03-16
分类号 H01L21/48(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 小坂隆 申请(专利权)人 松下电子材料(上海)有限公司
代理机构 北京金信立方知识产权代理有限公司 代理人 黄威;郭迎侠
地址 201401 上海市工业综合开发区环城北路148号(奉贤区)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种粉体定量供给装置,包括搅拌部、送料容器和位于所述搅拌部和所述送料容器之间的排出活动门;所述粉体定量供给装置还包括设置在所述送料容器上的用于检测所述送料容器内的粉体质量的质量检测部件。本实用新型的粉体定量供给装置,通过直接检测送料容器内的粉体质量,保证了粉体稳定的定质量供给。