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一种渐开线型柔性电容式压力传感器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201610646775.5 申请日 -
公开（公告）号 CN106289591A 公开（公告）日 2022-03-11
申请公布号 CN106289591A 申请公布日 2022-03-11
分类号 G01L1/14 分类 测量；测试;
发明人 周亚军;郭维;王林;程丁儒 申请（专利权）人 浙江大学昆山创新中心
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人 母秋松;董建林
地址 215300 江苏省苏州市昆山市祖冲之南路1699号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种渐开线型柔性电容式压力传感器，包括：基底层、电极层、介质层，所述基底层、电极层、介质层从下至上依次设置；所述电极层包括：多个电容、电极，所述电容呈矩阵结构排列在基底层顶面，每个电容包括：圆盘电容、渐开线、弯曲线、电容电极，所述圆盘电容外侧边源分别引出两根渐开线，每根渐开线末端均连接有弯曲线，每根弯曲线末端均连接有电容电极；所述基底层顶面四角均设置有电极；所述基底层、介质层均采用PDMS聚二甲基硅氧烷或PI聚酰亚胺或PET聚对苯二甲酸乙二醇酯或柔性玻璃或金属箔或试纸。本设计电容电极的延展伸缩性得到有效的提升，能够在使用电容电极的前提下提高器件的柔性性能。