全动式剪切/干涉镜
基本信息
申请号 | CN200620041457.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN2932378Y | 公开(公告)日 | 2007-08-08 |
申请公布号 | CN2932378Y | 申请公布日 | 2007-08-08 |
分类号 | G01N21/958(2006.01);G01N21/88(2006.01) | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 张东升 | 申请(专利权)人 | 上海麦田实业有限公司 |
代理机构 | 上海上大专利事务所 | 代理人 | 上海大学;上海麦田富润科技有限公司 |
地址 | 200444上海市宝山区上大路99号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种全动式剪切/干涉镜。它由一个分光镜、两个反射镜和激光扩束器组成,一个反射镜可控平移,另一个反射镜可控偏转,激光扩束器以活动铰链机构连接安装,可控偏转的反射镜可拆卸,从而可实现多模式无损检测方式,可调整测量灵敏度和灵敏度方向,引入相移,实现图像自动分析。 |
