全动式剪切/干涉镜

基本信息

申请号 CN200620041457.8 申请日 -
公开(公告)号 CN2932378Y 公开(公告)日 2007-08-08
申请公布号 CN2932378Y 申请公布日 2007-08-08
分类号 G01N21/958(2006.01);G01N21/88(2006.01) 分类 测量;测试;
发明人 张东升 申请(专利权)人 上海麦田实业有限公司
代理机构 上海上大专利事务所 代理人 上海大学;上海麦田富润科技有限公司
地址 200444上海市宝山区上大路99号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种全动式剪切/干涉镜。它由一个分光镜、两个反射镜和激光扩束器组成,一个反射镜可控平移,另一个反射镜可控偏转,激光扩束器以活动铰链机构连接安装,可控偏转的反射镜可拆卸,从而可实现多模式无损检测方式,可调整测量灵敏度和灵敏度方向,引入相移,实现图像自动分析。