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一种非真空的步进通过式快速硒化装置及利用其实现的硒化方法

基本信息

申请号 CN201210546090.5 申请日 -
公开（公告）号 CN103021823B 公开（公告）日 2016-03-16
申请公布号 CN103021823B 申请公布日 2016-03-16
分类号 H01L21/223(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;C23C8/06(2006.01)I;C30B31/06(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李和胜;李劼;闫升运;孙琳;王岩 申请（专利权）人 山东孚日光伏科技有限公司
代理机构 潍坊正信专利事务所 代理人 王伟霞
地址 261500 山东省潍坊市高密市孚日大道以北小辛河以东
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种非真空的步进通过式快速硒化装置，包括工艺腔室，所述工艺腔室利用门闸分割为顺次排列的装载腔、加热腔、保温腔、冷却腔和卸载腔，所述加热腔和保温腔设置有加热单元、鼓风单元和抽气单元，所述加热单元包括均匀分布于所述加热腔和保温腔内部的电热丝以及上下两排卤素灯，所述鼓风单元和抽气单元均设置有用以将工艺气体格栅化的格栅板，本发明同时公开了利用非真空的步进通过式快速硒化装置实现的硒化方法。本发明实现了扩散气体流场均匀性的高效控制，实现了扩散工艺温度和温升的高效控制，在保证大面积硒化均匀性的前提下，通过快速硒化有助于生产效率的大幅提升。