蚀刻系统
基本信息
| 申请号 | CN201820437378.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208701212U | 公开（公告）日 | 2019-04-05 |
| 申请公布号 | CN208701212U | 申请公布日 | 2019-04-05 |
| 分类号 | C23F1/08（2006.01）I; H05K3/06（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 金钟学; 汤泽民; 王长兴 | 申请（专利权）人 | 东莞太星机械有限公司 |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘健;黄韧敏 |
| 地址 | 523000 广东省东莞市麻涌镇南州村工业区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种蚀刻系统，包括：喷射装置，用于向基板喷射混合了微型泡沫的蚀刻液；吸入及喷嘴构件，安装在接近基板的位置，用于向基板喷射空气来分散蚀刻液，并吸入积累的蚀刻液进行回收；空气供给部，用于为吸入及喷嘴构件提供空气；蚀刻液回收部，用于为吸入及喷嘴构件提供吸入力，以回收基板上的蚀刻液；吸入及喷嘴构件包括：喷嘴体；在喷嘴体中形成的用于在喷嘴体下端喷射空气的空气喷射通道；在喷嘴体中形成的用于从喷嘴体下端吸入蚀刻液的蚀刻液吸入通道，蚀刻液吸入通道与空气喷射通道相互隔离。借此，本实用新型蚀刻系统能够使得水坑效应最小化，同时增加蚀刻速度和减少能量消费量。 |
