构成为微线路的喷盘装置
基本信息
| 申请号 | CN201821068708.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209216926U | 公开（公告）日 | 2019-08-06 |
| 申请公布号 | CN209216926U | 申请公布日 | 2019-08-06 |
| 分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 金钟学;汤泽民;王长兴 | 申请（专利权）人 | 东莞太星机械有限公司 |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘健;黄韧敏 |
| 地址 | 523000 广东省东莞市麻涌镇南州村工业区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型适用于微线路制备技术领域，提供了一种构成为微线路的喷盘装置，包括有为形成微线路向所有基板喷射蚀刻液并通过真空吸入去除积在所述基板上的所述蚀刻液的第一蚀刻结构、向所述基板喷射包括蚀刻液和气体混合的用二流体进行蚀刻的第二蚀刻结构、只在基板的边缘喷射蚀刻液做部分蚀刻的第三蚀刻结构，根据所述基板移送情况向所述基板间歇性喷射蚀刻液的第四蚀刻结构以及消除废气的废气去除模块。借此，本实用新型能够有效的去除基板上的蚀刻液使蚀刻的多个面形成比较均匀的蚀刻。 |
