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柔性薄膜蚀刻装置

基本信息

申请号 CN201820437370.5 申请日 -
公开（公告）号 CN208175109U 公开（公告）日 2018-11-30
申请公布号 CN208175109U 申请公布日 2018-11-30
分类号 H05K3/06 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 金钟学;汤泽民;王长兴 申请（专利权）人 东莞太星机械有限公司
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人 刘健;黄韧敏
地址 523000 广东省东莞市麻涌镇南州村工业区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种柔性薄膜蚀刻装置，用于移送柔性薄膜并进行蚀刻处理，其蚀刻处理空间内部设有：蚀刻液蓄水槽；上侧蚀刻液喷洒单元，设于移送的柔性薄膜的上方，用于对准柔性薄膜的上表面喷洒蚀刻液；上侧蚀刻液吸入单元，与上侧蚀刻液喷洒单元沿柔性薄膜的移送方向间隔设置，用于吸入喷洒后柔性薄膜的上表面多余的蚀刻液；下侧蚀刻液喷洒单元，设于移送的柔性薄膜的上方，用于对准柔性薄膜的下表面喷洒蚀刻液；下侧蚀刻液吸入单元，与下侧蚀刻液喷洒单元沿柔性薄膜的移送方向间隔设置，用于吸入喷洒后柔性薄膜的下表面多余的蚀刻液。借此，本实用新型能够对柔性薄膜进行均匀蚀刻，且表面损伤最小化，同时双面蚀刻处理。