一种三轴磁传感器及其制备工艺
基本信息
| 申请号 | CN202111459362.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114220913A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114220913A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | H01L43/02（2006.01）I;H01L43/08（2006.01）I;H01L43/12（2006.01）I;G01R33/02（2006.01）I;G01R33/09（2006.01）I;G01R33/10（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 郭慧芳;肖勇 | 申请（专利权）人 | 上海矽睿科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 | 代理人 | 严帅 |
| 地址 | 200050上海市长宁区定西路1328号3楼307室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了一种三轴磁传感器及其制备工艺，所述三轴磁传感器包括第一磁感测机构、第二磁感测机构及第三磁感测机构；第一磁感测机构用以感测第一方向的磁场；第一磁感测机构包括至少一根第一磁阻条；第二磁感测机构用以感测第二方向的磁场；第二磁感测机构包括至少一根第二磁阻条；第三磁感测机构用以感测第三方向的磁场；所述第三磁感测机构包括至少两根第三磁阻条，各第三磁阻条设置于对应沟槽的侧壁；所述三轴磁传感器的各沟槽中，存在相邻两个沟槽之间设有第一磁阻条或/和第二磁阻条的两个沟槽，使得第三磁阻条与第一磁阻条或/和第二磁阻条交错设置。本发明可降低工艺加工误差，提高工艺窗口，改善产品的整体良率。 |
