三轴加速度传感器
基本信息
| 申请号 | CN202120187055.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214585541U | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN214585541U | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | G01P15/18（2013.01）I;G01P15/125（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 谢国伟;金怡;颜培力 | 申请（专利权）人 | 上海矽睿科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孙佳胤 |
| 地址 | 200050上海市长宁区定西路1328号3楼307室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种三轴加速度传感器，包括：基板，固定设置于基板上的至少一个锚点，与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向，所在的平面为XY平面，垂直XY平面的方向为Z方向，还包括：第一可动质量块，通过第一弹性元件与锚点连接，所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件；第二可动质量块，通过第二弹性元件与第一可动质量块连接，所述第二弹性元件为以Y轴转为转动轴的转臂，使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动；第一质量块和第二质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧。本实用新型通过设置两个不同重心位置的质量块，通过质量块的旋转消除外界应力对加速度检测的影响。 |
