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一种集成电路生产的基片涂层烘干箱

基本信息

申请号 CN202021793280.3 申请日 -
公开（公告）号 CN213315998U 公开（公告）日 2021-06-01
申请公布号 CN213315998U 申请公布日 2021-06-01
分类号 B05D3/04（2006.01）I 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 吴亚祥 申请（专利权）人 江苏洲旭电路科技有限公司
代理机构 重庆晟轩知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 孔玲珑
地址 223400江苏省淮安市涟水县经济开发区电子产业园6＃厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于集成电路生产领域，具体为一种集成电路生产的基片涂层烘干箱，包括烘干机构、加热机构，所述烘干机构包括箱体、箱门、观察窗、支撑板、双向螺纹杆，所述箱体前部通过螺钉连接的铰链支撑有所述箱门，所述箱门远离所述铰链的一端通过螺钉连接有锁扣，所述箱门前部靠近所述锁扣的一侧安装有箱门把手，所述箱门上嵌入有所述观察窗，所述箱体内侧壁上固定有所述支撑板，所述支撑板上转动连接有所述双向螺纹杆，所述双向螺纹杆上通过螺纹连接有两个位移块。本实用新型采用设置在箱体外部的转动把手带动双向螺纹杆转动，因此不会加热转动把手，也就不会烫伤人员。