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一种光阻墙成型方法

基本信息

申请号	CN201310666847.9	申请日	-
公开（公告）号	CN103698968B	公开（公告）日	2017-01-25
申请公布号	CN103698968B	申请公布日	2017-01-25
分类号	G03F1/68(2012.01)I	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	徐成;于大全;李昭强	申请（专利权）人	中微智创（北京）软件技术有限公司
代理机构	无锡市大为专利商标事务所（普通合伙）	代理人	曹祖良;韩凤
地址	214135 江苏省无锡市新区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种光阻墙成型方法，其使用注塑技术成型一块平板，平板的正面具有相同高度的第一凸台和第二凸台，在第一凸台和第二凸台之间由凹槽分隔；将所述平板正面滚胶并与第一基板压合，再对平板背面进行碾磨减薄，直至第一凸台和第二凸台底部分离；并用紫外光照射去除第一基板上的粘性；采用一个转移基板将第一凸台从第一基板上分离出来，并将滚上胶的第一凸台背面与第二基板键合；最后解除第一凸台与转移基板间的临时键合，形成光阻墙结构。其优点是：由于光阻墙结构是单独成型，相比传统光刻胶光刻方法可大大减少在光阻墙成型过程中污染导致不合格器件产生的几率。注塑使用的材料提高光阻墙光罩结构强度，有效减少分层和脱离等可靠性问题。