一种单晶炉用波纹管
基本信息
| 申请号 | CN202122105614.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215668285U | 公开（公告）日 | 2022-01-28 |
| 申请公布号 | CN215668285U | 申请公布日 | 2022-01-28 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 方雅军 | 申请（专利权）人 | 华耀光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 010070 内蒙古自治区呼和浩特市如意工业园区沙尔沁镇阳光大街北、工农路东 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种单晶炉用波纹管，包括波纹管体以及固定连接在波纹管体上方的上法兰圈，还包括设置在波纹管体内部的循环水冷套以及与循环水冷套相连通的进水管道及出水管道，所述进水管道、出水管道均与所述上法兰圈相连接，循环冷却水能够从进水管道进入所述循环水冷套内部，之后从所述出水管道流出。本实用新型的单晶炉用波纹管在波纹管管体内部增设循环水冷套，循环水冷套内部能够循环工业冷却水，当有硅料或者硅液滴落时，通过循环水冷套的降温处理能有效避免波纹管被高温烫穿，延长了波纹管的使用寿命，降低设备生产风险、提高设备运行能力。 |
