一种单晶炉用导流筒
基本信息
申请号 | CN202120108683.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215517725U | 公开(公告)日 | 2022-01-14 |
申请公布号 | CN215517725U | 申请公布日 | 2022-01-14 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 赵刚;高磊 | 申请(专利权)人 | 华耀光电科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京开阳星知识产权代理有限公司 | 代理人 | 樊晓敏 |
地址 | 010070 内蒙古自治区呼和浩特市如意工业园区沙尔沁镇阳光大街北、工农路东 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种单晶炉用导流筒,包括外导流筒及套设在外导流筒内部的内导流筒,在内导流筒的下口处可拆卸的安装有导流筒套环,通过更换不同尺寸的导流筒套环,使得导流筒套环的最小内径与待拉制的单晶尺寸相对应。本实用新型的单晶炉用导流筒为了满足不同直径单晶硅棒的拉制,仅需要对导流筒的个别组件进行更换即可改变导流筒下口直径,不需要整体更换导流筒整体组件,降低了生产成本。 |
