一种单晶炉用导流筒

基本信息

申请号 CN202120108683.8 申请日 -
公开(公告)号 CN215517725U 公开(公告)日 2022-01-14
申请公布号 CN215517725U 申请公布日 2022-01-14
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 赵刚;高磊 申请(专利权)人 华耀光电科技股份有限公司
代理机构 北京开阳星知识产权代理有限公司 代理人 樊晓敏
地址 010070 内蒙古自治区呼和浩特市如意工业园区沙尔沁镇阳光大街北、工农路东
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种单晶炉用导流筒,包括外导流筒及套设在外导流筒内部的内导流筒,在内导流筒的下口处可拆卸的安装有导流筒套环,通过更换不同尺寸的导流筒套环,使得导流筒套环的最小内径与待拉制的单晶尺寸相对应。本实用新型的单晶炉用导流筒为了满足不同直径单晶硅棒的拉制,仅需要对导流筒的个别组件进行更换即可改变导流筒下口直径,不需要整体更换导流筒整体组件,降低了生产成本。