一种硅料清洗篮筐校正装置

基本信息

申请号 CN202121980945.6 申请日 -
公开(公告)号 CN216054595U 公开(公告)日 2022-03-15
申请公布号 CN216054595U 申请公布日 2022-03-15
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 许如意 申请(专利权)人 华耀光电科技股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 010070 内蒙古自治区呼和浩特市如意工业园区沙尔沁镇阳光大街北、工农路东
法律状态 -

摘要

摘要 一种硅料清洗篮筐校正装置,包括固定板,伸缩校正机构,固定支架,所述固定板用于与槽体侧壁固定连接,伸缩校正机构的一端与固定板固定连接,另一端与清洗篮筐作用,通过伸缩调节清洗篮筐在槽体中的位置,固定支架用将伸缩校正机构与槽体平台固定连接。本实用新型的硅料清洗篮筐校正装置将市面上常用的四个位置校正加装到八个位置校正,提高位置校准精度;采用伸缩校正机构进行校准,有效改善原有固定校准机制的损坏率,有效降低维修工时,提高整个设备的运行能力。