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电阻模型的建模方法

基本信息

申请号 CN201310321036.5 申请日 -
公开（公告）号 CN103390086B 公开（公告）日 2018-01-26
申请公布号 CN103390086B 申请公布日 2018-01-26
分类号 G06F17/50 分类 计算；推算；计数;
发明人 廖梦星;吉远倩 申请（专利权）人 上海宏力半导体制造有限公司
代理机构 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 上海华虹宏力半导体制造有限公司
地址 201203 上海市张江高科技园区祖冲之路1399号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种电阻模型的建模方法，包括：根据晶圆的测量结果建立固有的电阻模型，所述晶圆包含模拟对象和多个用于测量的Pad，所述Pad通过金属线与所述模拟对象连接；在固有的电阻模型中增加参数设置和金属线子电路，利用所述参数和金属线子电路计算金属线的电阻；根据所述测量结果和所述金属线的电阻建立最终的电阻模型。在本发明提供的电阻模型的建模方法中，在固有的电阻模型的基础上计算金属线的电阻，根据所述固有的电阻模型和金属线的电阻形成最终的电阻模型，最终的电阻模型消除了金属线对电阻模型的影响，使得模拟结果更加精确。