氮化嫁基紫外半导体发光二极管及其制作方法

基本信息

申请号 CN201510352936.5 申请日 -
公开(公告)号 CN105161583A 公开(公告)日 2015-12-16
申请公布号 CN105161583A 申请公布日 2015-12-16
分类号 H01L33/02(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 于浩;赵玉娟;甘君锋;尹宝堂;汤献忠 申请(专利权)人 广西盛和电子科技股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 535000 广西壮族自治区钦州市高新技术产业开发区曙光园C1-2标准厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及半导体发光技术领域,具体涉及氮化嫁基紫外半导体发光二极管及其制作方法;包括依次层叠设置的蓝宝石衬底层、氮化嫁缓冲层、非掺杂氮化嫁层、N型氮化嫁层、多个周期对的AlGaN/InGaN多量子阱层、P型铝镓氮层、P型氮化镓层及渐变非掺杂铝镓铟氮表面接触层,所述渐变非掺杂铝镓铟氮表面接触层为组分均匀渐变的(AlxIn1-x)yGa1-yN四元合金层;本发明可减少对紫外光的吸收,提高发光效率,并且禁带宽度逐渐减少,同时降低了元器件的工作电压,延长了元器件的使用寿命。