一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统
基本信息
| 申请号 | CN201911190528.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110672662A | 公开（公告）日 | 2020-01-10 |
| 申请公布号 | CN110672662A | 申请公布日 | 2020-01-10 |
| 分类号 | G01N25/68（2006.01） | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 宋巍巍; 顾正华; 盖文; 刘向波; 韩杰; 梁文清; 张文清; 顾光武; 曾星 | 申请（专利权）人 | 江苏鸿源动力科技有限公司 |
| 代理机构 | 绵阳山之南专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈强 |
| 地址 | 621000 四川省绵阳市涪城区二环路南段6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统，该方案包括有进气口、不锈钢进气管道、测量腔、镜面、制冷机、质量流量控制器MFC、不锈钢出气管道和出气口；镜面设置在测量腔内；镜面通过制冷管路与设置在测量腔外的制冷机连接；不锈钢进气管道一端与进气口连接，另一端与测量腔连通；不锈钢出气管道一端与出气口连接，另一端与测量腔连通；质量流量控制器MFC串联安装在出气管道上。该方案可以避免由于MFC内部容易存水导致内表面材料缓慢释放水分，影响测量速度和精度。同时通过电伴热升温，减少气路管道内壁材料吸附水份的含量，提高露点测量速度。 |
