首页/ 杭州长川科技股份有限公司/ 专利详情

结电容参数测试电路、测试方法以及测试设备

基本信息

申请号 CN202111239753.4 申请日 -
公开（公告）号 CN114184925A 公开（公告）日 2022-03-15
申请公布号 CN114184925A 申请公布日 2022-03-15
分类号 G01R31/26（2014.01）I 分类 测量；测试;
发明人 耿霄雄;钟锋浩;胡江 申请（专利权）人 杭州长川科技股份有限公司
代理机构 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 代理人 方道杰
地址 310051浙江省杭州市滨江区聚才路410号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种结电容参数测试电路、测试方法以及测试设备，其中，该测试电路中，第一隔直电容分别与阻抗测量单元的一端以及被测器件的栅极连接，被测器件测量开关分别与被测器件的源极与漏极连接，第二隔直电容分别与被测器件的源极以及阻抗测量单元的另一端连接；第一隔直电容泄放开关与第一隔直电容并联于阻抗测量单元的一端与被测器件的栅极，第三开关的一端与第一隔直电容连接，另一端接地，第二隔直电容泄放开关与第二隔直电容并联于阻抗测量单元的另一端与被测器件的源极，第五开关的一端与第二隔直电容连接，另一端接地。通过本申请，解决了电容恢复时间长导致的测试效率低的问题，缩短了电容恢复时间，提高了测试效率。