单晶炉的上炉体

基本信息

申请号 CN201410692509.7 申请日 -
公开(公告)号 CN104451861A 公开(公告)日 2015-03-25
申请公布号 CN104451861A 申请公布日 2015-03-25
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 马海善 申请(专利权)人 常州市海豪力智能装备科技有限公司
代理机构 常州市维益专利事务所 代理人 常州市海豪力智能装备科技有限公司
地址 213000 江苏省常州市新北区西夏墅镇工业园区常州市海豪力智能装备科技有限公司
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及单晶炉的上炉体,包括上炉体本体,所述上炉体本体上、下两端分别设有上、下连接件,上炉体本体包括內炉体和外炉体,外炉体和內炉体之间形成有冷却腔体,所述內炉体的外壁上设有多个凸起,相邻凸起之间形成导流槽,外炉体的内壁上设有与导流槽相适应的栅板,栅板的一端固定在外炉体上,另一端延伸至导流槽内,外炉体的外壁上设有与冷却腔体相连的进水口和出水口。本发明具有使用寿命长,能够散热等特点。