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从蚀刻机生产线过滤回收氢氟酸的工艺方法

基本信息

申请号	CN201410467182.3	申请日	-
公开（公告）号	CN104192805B	公开（公告）日	2016-06-15
申请公布号	CN104192805B	申请公布日	2016-06-15
分类号	C01B7/19(2006.01)I	分类	无机化学;
发明人	王秀虎	申请（专利权）人	上海清瑞环保科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	201100 上海市闵行区放鹤路1088号第6幢4022室
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种从蚀刻机生产线过滤回收氢氟酸的工艺方法，包括如下步骤：启动泵抽取蚀刻机生产线废酸，进入废酸暂存桶；废酸进入过滤器内，所述过滤器从外向内依次由外壳、滤布和滤管组成，然后流出过滤器进入干净桶，固体颗粒被拦截在滤布表面形成滤饼；所述废酸暂存桶中的废酸降至预设液位或所述过滤器的进出口压差达到预设定值或过滤运行时间达到预设定值时，先补气到过滤器内排走残留液和烘干滤饼，再逆向补气爆破滤饼，回收滤饼；给水冲洗过滤器内部，再补气排水，等待进入下一个循环。本发明不但能够提高废酸回收效率，替代传统落后的回收方式，降低废水站工作量和运营成本，而且也能防止对环境的二次污染，有利于环境保护和操作人员健康。