分布反馈式面发射激光器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010674651.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111725701A | 公开（公告）日 | 2020-09-29 |
| 申请公布号 | CN111725701A | 申请公布日 | 2020-09-29 |
| 分类号 | H01S5/12(2006.01)I;H01S5/10(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 蔡建新 | 申请（专利权）人 | 武汉仟目激光有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人 | 武汉仟目激光有限公司 |
| 地址 | 430205湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖北路33号华工科技园·创新基地13栋1单元1层01号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及激光器技术领域，提供了一种分布反馈式面发射激光器，包括由上而下依次布设的衬底、中间层、接触层以及金属层，激光器还包括掩埋在中间层靠近所述接触层的部分中的光栅层。还提供一种分布反馈式面发射激光器的制作方法，包括如下步骤：S1，由上而下依次布设衬底、上包层、上波导层、有源层、下波导层、下包层、接触层以及金属层；S2，在所述下包层中制作光栅层，或者是在所述下波导层中制作光栅层，或者是在所述下包层和所述下波导层之间制作光栅层。本发明通过将光栅层掩埋在中间层靠近接触层的部分中，能够完全保证接触层不被损伤，使工艺处理可靠，容错率高，从而明显有效地提高良率。 |
