垂直腔面发射激光器以及离子注入方法
基本信息
| 申请号 | CN202110215478.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113013728A | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN113013728A | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | H01S5/183;H01S5/32 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨旭;刘哲;韩春霞;周璇;宋云菲 | 申请（专利权）人 | 武汉仟目激光有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胡建文 |
| 地址 | 430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖北路33号华工科技园·创新基地13栋1单元1层01号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种垂直腔面发射激光器，包括N金属以及位于N金属上的衬底层，还包括生长于衬底层上的功能层，功能层具有电绝缘区，电绝缘区中具有B+离子区间、He+离子区间以及H+离子区间，B+离子区间、He+离子区间以及H+离子区间沿衬底层至N金属层的方向依次布设。还包括一种离子注入方法，用在上述的垂直腔面发射激光器的加工中，具体包括如下步骤：按顺序向电绝缘去中依次注入B+离子、He+离子以及H+离子，以在电绝缘区中形成B+离子区间、He+离子区间以及H+离子区间，B+离子区间、He+离子区间以及H+离子区间沿衬底层至N金属层的方向依次布设。本发明通过在电绝缘区中注入B+离子、He+离子以及H+离子可以确保激光器的光电性能和寿命不受影响。 |
