一种分布反馈式面发射激光器

基本信息

申请号 CN202021378557.6 申请日 -
公开(公告)号 CN212366422U 公开(公告)日 2021-01-15
申请公布号 CN212366422U 申请公布日 2021-01-15
分类号 H01S5/12(2006.01)I;H01S5/10(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 蔡建新 申请(专利权)人 武汉仟目激光有限公司
代理机构 北京汇泽知识产权代理有限公司 代理人 武汉仟目激光有限公司
地址 430205湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖北路33号华工科技园·创新基地13栋1单元1层01号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及激光器技术领域,提供了一种分布反馈式面发射激光器,包括由上而下依次布设的衬底、中间层、接触层以及金属层,激光器还包括掩埋在中间层靠近所述接触层的部分中的光栅层。本实用新型通过将光栅层掩埋在中间层靠近接触层的部分中,能够完全保证接触层不被损伤,使工艺处理可靠,容错率高,从而明显有效地提高良率;光栅掩埋在结构内部,可以大大提高芯片表面的平整度,甚至可以得到完美的平整度,从而能够实现完全的镜面反射,进而保证了贴片质量,避免由于之前发明的表面的平整度不好导致的光的极化度不高,键合质量不高的隐患;采用阻挡层,可以精确地控制光栅的刻蚀深度,同时不用担心接触层被损伤和移出的问题。