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一种半导体加工用表面清洁装置

基本信息

申请号 CN202020988315.2 申请日 -
公开（公告）号 CN213079226U 公开（公告）日 2021-04-30
申请公布号 CN213079226U 申请公布日 2021-04-30
分类号 B08B1/02;B08B5/02;B08B13/00;H01L21/67 分类 清洁;
发明人 郭顺杰 申请（专利权）人 上海锶坎电子有限公司
代理机构 南昌金轩知识产权代理有限公司 代理人 石红丽
地址 201800 上海市嘉定区南翔镇静塘路988号2幢J1064室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体加工用表面清洁装置，包括顶板，所述顶板底部表面的两侧均固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部固定连接有升降板，所述升降板底部表面中心处的两侧均固定连接有连接柱，所述连接柱的底部固定连接有清理框，所述清理框内腔的底部固定连接有清理板，所述清理板底部表面的前侧固定连接有清理毛。本实用新型可使表面清洁装置对半导体表面进行清灰和吹灰，这样表面清洁装置的清洁更加彻底，解决了表面清洁装置在使用时，因只能进行清灰或吹灰，使得粘结在表面浮灰无法被清理，造成清洁后的半导体表面仍然不洁净，从而导致清洁装置出现清洁效果较差的问题。