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一种双面晶圆外观缺陷检测机

基本信息

申请号	CN202120300156.7	申请日	-
公开（公告）号	CN214347979U	公开（公告）日	2021-10-08
申请公布号	CN214347979U	申请公布日	2021-10-08
分类号	B07C5/02（2006.01）I;B07C5/34（2006.01）I	分类	将固体从固体中分离；分选;
发明人	杨勇	申请（专利权）人	苏州矩浪科技有限公司
代理机构	苏州言思嘉信专利代理事务所（普通合伙）	代理人	刘巍
地址	215000江苏省苏州市高新区培源路1号软件大厦5号楼203（1）
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种双面晶圆外观缺陷检测机，该检测机是一种多层结构体，包括机架，所述机架上分别设置有A面Y轴运动模组、B面Y轴运动模组和B面X轴运动模组，所述A面Y轴运动模组上设置有A面X轴运动模组，所述A面X轴运动模组上设置有A面视觉检测机构，所述B面X轴运动模组上设置有B面视觉检测机构，所述机架上位于所述A面视觉检测机构和所述B面视觉检测机构之间设置有传输装置。本实用新型的有益效果是，本实用新型提供的检测机可对晶圆的双面同步进行检测，检出率非常高，该设备具备各种报警管控功能，产线出现大规模品质异常，可及时发现改善制程，避免工厂不必要的损失，可以有效提高检测效率，减少人工费用的支出，有效降低次品率。