一种晶圆输送下料机构
基本信息
| 申请号 | CN202120297585.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214690377U | 公开（公告）日 | 2021-11-12 |
| 申请公布号 | CN214690377U | 申请公布日 | 2021-11-12 |
| 分类号 | B65B23/00（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 杨勇 | 申请（专利权）人 | 苏州矩浪科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州言思嘉信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘巍 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市高新区培源路1号软件大厦5号楼203（1） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆输送下料机构，包括支撑平台、设置于支撑平台上用于有序放置料盒的料盒放置装置、设置于支撑平台上用于控制Y方向移动的Y轴移动装置、设置于Y轴移动装置上用于控制Z方向移动的Z轴移动装置、设置于Z轴移动装置上用于夹持料盒且收纳下料的晶圆的夹框装置、设置于支撑平台上用于放置晶圆的晶圆安装装置、设置于晶圆安装装置上用于推动晶圆安装装置上的晶圆的推料装置，本实用新型的有益效果是，通过料盒放置装置、夹框装置、晶圆安装装置、推料装置配合能够很好地将晶圆推至夹框装置中的料盒内。 |
