一种基于吸气剂热-电复合激活的真空烘烤工艺
基本信息
| 申请号 | CN201910389354.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110078020B | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN110078020B | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | B81C1/00（2006.01）I;B81C3/00（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 马晶晶;欧文;罗九斌;台宪青 | 申请（专利权）人 | 江苏物联网研究发展中心 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 殷红梅;张仕婷 |
| 地址 | 214135江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种基于吸气剂热‑电复合激活的真空烘烤工艺，属于半导体封装技术领域。其在烘烤除气步骤的后半阶段，通过电加热的方式将吸气剂提前激活参与除气，利用吸气剂的再激活特性，反复激活吸气剂，以达到抽气的最大效率。最后一次高温激活后结束烘烤和吸气剂激活工艺，进入真空焊接步骤。本发明在确保吸气剂最终有效激活的基础上，降低烘烤除气的时间，从而提高封装效率，节约封装成本。实际实施过程中，选择合适的吸气剂，充分利用吸气剂的再激活特性，采用间断、多次激活的方式，以保持吸气剂表面的吸气活性。 |
