红外气体传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010263358.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113495059A | 公开（公告）日 | 2021-10-12 |
| 申请公布号 | CN113495059A | 申请公布日 | 2021-10-12 |
| 分类号 | G01N21/3504（2014.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 蒋文静;欧文;李志刚 | 申请（专利权）人 | 江苏物联网研究发展中心 |
| 代理机构 | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵永刚 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种红外气体传感器及其制备方法。红外气体传感器包括：电连接层、红外探测器、第一衬底和第二衬底，第二衬底位于第一衬底的第一方向上；第二衬底的朝向第二方向的表面开设有腔槽，且第二衬底和第一衬底通过第一键合金属层进行键合，以将腔槽的开口闭合，使腔槽形成腔室；红外气体传感器开设有通气孔，用于将腔室与外界连通；第一衬底设置有红外光源和光学天线；红外光源用于向腔室提供红外光线，光学天线用于将腔室内的红外光线聚集至红外探测器，红外探测器用于吸收聚集的红外光线并根据吸收的红外光线生成相应电信号，电连接层用于连接外部电源以进行供电。本发明能够实现红外气体传感器的微型化。 |
