光谱芯片和光谱分析装置
基本信息
| 申请号 | CN202121623561.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215069988U | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN215069988U | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | H01L27/146（2006.01）I;G01J1/04（2006.01）I;G01J1/42（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张鸿;黄志雷;王宇 | 申请（专利权）人 | 北京与光科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京唐颂永信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘伟 |
| 地址 | 100083北京市海淀区王庄路1号清华同方科技大厦D座西楼2211 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种光谱芯片和光谱分析装置，其中，所述光谱芯片以特定的制备工艺制得。具体地，所述制备工艺将形成光调制结构的工艺转移到衬底上，以一方面摆脱现有的光谱芯片制造工艺受限于晶圆厂的局限，且另一方面可以确保制备过程中不会对所述光谱芯片造成污染。 |
